3D Measurement 三维测量

NS-3500

NS3500 高速激光共聚焦显微镜

NS-3500是一款高速共聚焦激光扫描显微镜(CLSM),可用于精确可靠的3维(3D)测量。 通过快速光学扫描模块和信号处理算法可实现共聚焦显微实时图像。这是测量和检查微观3D结构有前途的解决方案。



特点 & 优势
    -高分辨率无损伤光学3D测量                                                       -简易分析模式                  
    -实时共焦成像                                                                                -精确可靠的高速高度测量
    -各种光学变焦                                                                                -通过半透明基材检查特征
    -同时进行明场和共焦成像                                                            -不需要准备样品
    -自动增益和自动对焦                                                                    -双Z扫描模式
    -倾斜补偿                                                                                        -图像拼接,可进行大范围检查




应用领域:
NS-3500是测量光度的有前途的解决方案
微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如

·半导体– IC图案,凸块高度,线环高度,缺陷检查,CMP工艺     
·FPD产品–触摸屏屏幕检查,ITO图案,LCD列间隔物高度
·MEMS设备–结构的3D轮廓,表面粗糙度,MEMS图案
·玻璃表面–薄膜太阳能电池,太阳能电池质地,激光图案
·材料研究–模具表面检查,粗糙度,裂纹分析




软件:



图像拼接:
 
 

















 

规格:
     
 
 

Model
Microscope  NS-3500
备注
  Controller  NS-3500E
物镜倍率 10x 20x 50x 100x 150x  
观察/  测量范围 水平 (H): µm 1400 700 280 140 93  
垂直 (V): µm 1050 525 210 105 70  
工作范围: mm 16.5 3.1 0.54 0.3 0.2  
数值孔径(N.A.) 0.30 0.46 0.80 0.95 0.95  
光学变焦 x1 to x6  
总放大倍率 178x to 26700x  
观察/测量的光学系统 针孔共聚焦光学系统  


高度测量

测量扫描范围
精细扫描 : 400 µm (and/or) 长扫描 : 10 mm [NS-3500-S]
注 1
长扫描 : 10mm [NS-3500-T]
显示分辨率 0.001 µm  
重复率 σ 0.010 µm 注 2

宽度测量
显示分辨率 0.001 µm  
重复率 3σ 0.02 µm 注 3


帧记忆
像素 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96  
单色图像 12 bit  
彩色图像 8-bit for RGB each  
高度测量 16 bit  

帧速率
表面扫描 20 Hz to 160 Hz  
线扫描 ~8 kHz  
自动功能 自动增益, 自动对焦  
激光共焦测量光源 波长 紫罗兰激光, 405nm  
输出 ~2mW  
激光等级 Class 3b  
激光接收元件 PMT (光电倍增管)  
CCD光源 光源 10W LED  
光学观察照相机 成像元件 1/2” 彩色图像 CCD 传感器  
记录分辨率 640x480  
自动调整 增益, 快门速度, White balance  
数据处理单元 专用 PC  

电源
电源电压 100 to 240 VAC, 50/60 Hz  
电流消耗 500 VA max.  

重量
显微镜 Approx. ~50 kg
(Measuring head unit : ~12 kg)
 
控制器 ~8 kg  
隔振系统 气浮光学平台 Option


注1:   精细扫描由压电执行器(PZT)执行。
         精细和长距离扫描仪的双重扫描模式仅适用于NS-3500-S(单镜头类型)。                
注2 :  以100×/ 0.95物镜对标准样品(步长1µm)进行100次测量。                                                                     
注 3 : 以100×/ 0.95物镜对标准样品(5μm间距)进行100次测量。




尺寸:
        


应用领域: