3D Measurement 三维测量

NS-3600

NS3600 高速激光共聚焦显微镜
NS-3600是一款高速共聚焦激光扫描显微镜(CLSM),可用于精确可靠的3维(3D)测量。 通过快速光学扫描模块和信号处理算法可实现实时共聚焦显微图像。这是测量和检查微观3D结构有前途的解决方案。















特点 & 优势
    -高分辨率无损伤光学3D测量                                 -简易分析模式                  
    -实时共焦成像                                                       -精确可靠的高速高度测量
    -各种光学变焦                                                       -通过半透明基材检查特征
    -同时进行明场和共焦成像                                     -不需要准备样品
    -自动增益和自动对焦                                             -双Z扫描模式
    -倾斜补偿                                                               -图像拼接,可进行大范围检查




应用领域:
NS-3500是测量光度的有前途的解决方案
微米和亚微米结构的高度,宽度,角度,面积和体积,例如

·半导体– IC图案,凸块高度,线环高度,缺陷检查,CMP工艺     
·FPD产品–触摸屏屏幕检查,ITO图案,LCD列间隔物高度
·MEMS设备–结构的3D轮廓,表面粗糙度,MEMS图案
·玻璃表面–薄膜太阳能电池,太阳能电池质地,激光图案
·材料研究–模具表面检查,粗糙度,裂纹分析



软件:
 












规格:




Model
Microscope  NS-3600
备注
物镜倍率 10x 20x 50x 100x    
观察/  测量范围 水平 (H): µm 1400 700 280 140    
垂直 (V): µm 1050 525 210 105    
工作范围: mm 17.5 4.5 1.0 1.0    
数值孔径(N.A.) 0.30 0.45 0.80 0.90    
光学变焦 x1 to x6  
观察/测量的光学系统 针孔共聚焦光学系统  


高度测量

测量扫描范围
长扫描 : 10mm 
 
显示分辨率 0.001 µm  
重复率 σ 0.020 µm 注 1

宽度测量
显示分辨率 0.001 µm  
重复率 3σ 0.03 µm 注 2


帧记忆
像素 1024x1024, 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96  
单色图像 12 bit  
彩色图像 8-bit for RGB each  
高度测量 16 bit  

帧速率
表面扫描 20 Hz to 160 Hz  
线扫描 ~8 kHz  
自动功能 自动增益, 自动对焦  
激光共焦测量光源 波长 Red laser, 638nm  
输出 ~2mW  
激光等级 Class 3b  
激光接收元件 PMT (光电倍增管)  
CCD光源 光源 LED  
光学观察照相机 成像元件 1/2” 彩色图像 CCD 传感器  
记录分辨率 1296x966  
数据处理单元 专用 PC  

电源
电源电压 100 to 240 VAC, 50/60 Hz  
电流消耗 500 VA max.  

重量
显微镜 Approx. ~50 kg
(Measuring head unit : ~12.5 kg)
 
控制器 ~8 kg  
隔振系统 气浮光学平台 Option


注 1 :  以 100× / 0.9 的物镜对标准样品进行(高度步长1µm )100次测量                           
注 2 :   以100× / 0.9 物镜对标准样品(5µm间距)进行100次测量








应用领域: