Thermal Microscopy 热显微术

CTRM 700

CTRM 700
CTRM700是世界上第一台共焦热反射显微镜,由韩国外观研究中心开发的激光扫描共焦热反射成像技术由NanoScope Systems商业化并发布。
共焦热反射显微镜技术是通过利用激光扫描共焦法测量由于样品表面或内部特定表面上的温度变化引起的光反射率变化的分布来获取加热图像的技术。 提供卓越的热成像分辨率。

热反射显微镜(Thermal Reflectance Microscope)是基于样品的光反射率根据所测量的样品的温度而变化物理现象,通过测量光的反射率来计算目标样品的温度的技术。
它可以实现局部区域的高分辨率显微热成像,而传统的热成像技术(例如红外成像)则无法实现。






Application fields & Sample images

-半导体器件加热特性的测量与分析                                     - 3D堆叠半导体加热特性的测量和分析      
-柔性显示面板缺陷检查-OLED内部缺陷检查                      -用于柔性显示的氧化物薄膜晶体管
-高输出功率装置发热特性的测量与分析                             -发热特性测量与分析
-根据红外图像传感器单元的像素结构                                 -柔性OLED器件的加热特性的测量和分析-半导体激光加热特性的测量和分析
-发热特性测量与分析                                                          -用于气体传感器的MEMS装置的加热特性的测量和分析
-分析氧化物薄膜晶体管的加热特性                                     -InGaZnO薄膜晶体管的发热特性及可靠性分析



























规格:


型号 CTRM700
物镜   10x 20x 50x 100x

FOV
Horizontal (H):   um 1400 700 280 140
Vertical (V):   um 1050 525 210 105
Optical zoom x1 to x6
Optical system for observation/measurement Confocal optical system
Height measuring range 7 mm
Spatial resolution Lateral resolution 0.3   m
Axial resolution 0.8   m
Thermal resolution 1 ˚C
Pixel Resolution Confocal imaging pixels 1024x768, 1024x384, 1024x192, 1024x96
Active thermal pixels
 
1024 x 768
Frame Rate Confocal imaging mode 10 Hz to 160 Hz
Thermal mode 0.3 Hz


Laser
Wavelength Diode laser, 638 nm
Output ~2 mW
Laser class Class 3a
LED   10 W
Color camera Imaging element 1/3” Color CCD image sensor
Recording resolution 640 x 480
Data processing unit Dedicated PC

Power supply
voltage
 
100 to 240 VAC, 50/60 Hz
Current consumption 500 VA max

Weight
Microscope Approx. ~50 kg
(Measuring Head : ~14 kg)
Controller ~8 kg







应用领域: